1、臭氧又成为O3。在水处理过程中，应尽量不要生成新的三卤甲烷物质，因为三卤甲烷一旦形成，臭氧也很难将其氧化去除。
2、 臭氧发生器能将水中不易降解的大分子有机物氧化分解为小分子有机物，并向水中充氧使水中溶解氧增加，为后续处理（特别是生物处理）提供了更好的条件。但从经济上考虑，O3投加量不可能太高，所以氧化并不彻底，如果后续工艺处理不当，也会产生三卤甲烷等有害物质。
3、臭氧发生器消毒效果好，剂量小，作用快，不产生三氯甲烷等有害物质，同时还可使水具有较好的感官指标。臭氧发生器对一些顽强病毒的灭活作用远远高于氯，但水中臭氧发生器分解速度快，无法维持管网中有一定量的剩余消毒剂水平，故通常在臭氧发生器消毒后的水中投加少量的氯系消毒剂。
4、投加臭氧发生器能改变小粒径颗粒表面电荷的性质和大小，使带电的小颗粒聚集；同时臭氧发生器氧化溶解性有机物的过程中，还存在“微絮凝作用”，对提高混凝效果有一定作用。
5、臭氧发生器去除微生物、水草、藻类等有机物产生的嗅、味，效果良好，脱色能力比Cl2和ClO2更为有效和迅速。
6、臭氧发生器消毒受pH值、水温及水中含氨量影响较小，但也有一定的选择性，如绿霉菌、青霉菌等对臭氧发生器具有抗药性，须较长时间才能杀死。臭氧发生器用于饮用水消毒时，水的浊度、色度对消毒灭菌效果有影响,将有相当一部分臭氧发生器被用于无机物和有机物的氧化分解上。
7、臭氧发生器作为高效的无二次污染的氧化剂，是常用氧化剂中氧化能力最强的，其氧化能力是氯的2倍，杀菌能力是氯的数百倍，能够氧化分解水中的有机物，氧化去除无机还原物质，能极迅速地杀灭水中的细菌、藻类、病原体等。